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實驗室量測儀器

半導體電性參數量測機台  Probe Station A&B

horizontal furnace (水平爐管)
I-line stepper (I-line 光學步進機)
PECVD (電漿輔助化學氣相沈積系統)
PECVD (電漿輔助化學氣相沈積系統)
wet bench (前段化學清洗蝕刻工作站)
FSE Cluster PVD  (多層金屬濺鍍系統)
FUSION OZONE ASHER (乾式光阻去除機)
Track (自動化光阻塗佈及顯影系統)
POLY-SILICON ETCHER (多晶矽乾式蝕刻機)
Implantation  (中電流離子佈植機)
Ellipsometer (橢圓測厚儀)
FIB (離子束電子束雙束系統)
ALD (原子級氣相沉積系統)
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